An próiseas a ullmhú nítríde sileacain.

Tá tionchar suntasach ag an modh táirgthe nítríde sileacain ar chéim criostalach, íonacht agus dlúthacht an ábhair. De réir na gceanglas iarratais, is féidir le modhanna ullmhúcháin éagsúla ábhair nítríde sileacain a bhfuil airíonna éagsúla acu.

A. Modh nítriding díreach
Forbhreathnú ar mhodheolaíocht

Is próiseas é nítríde díreach - ina n-imoibríonn gal sileacain agus nítrigine ag teochtaí arda chun nítríde sileacain a fhoirmiú, go hiondúil ag teochtaí ó 1400 céim go 1500 céim, chun ábhair phas measctha -Si₃N₄ agus -Si₃N₄ a tháirgeadh.

Rialú Próisis agus Cásanna Infheidhme

Tá an modh nítriding díreach oiriúnach do tháirgeadh ar scála mór, ach éilíonn sé rialú docht ar pharaiméadair mar theocht, íonacht nítrigine agus ráta sreafa chun aonfhoirmeacht agus dlúthacht an táirge a chinntiú. Tá an modh seo oiriúnach chun ábhair nítríde sileacain mórchóir a tháirgeadh, a úsáidtear go forleathan i dtáirgeadh criadóireacht struchtúrach tionsclaíoch.

B. Soilsiú Gal (CVD)
prionsabal

Is próiseas é sil-leagan ceimiceach gaile (CVD) - ina n-imoibríonn silane (SiH₄) agus amóinia (NH₃) ag teochtaí arda chun scannáin thanaí de nítríde sileacain a fhoirmiú. Trí chomhréir agus ráta sreafa an gháis imoibrithe a rialú, is féidir scannáin nítríde sileacain le tiús aonfhoirmeach agus ardíonacht a fháil.

Buntáistí agus míbhuntáistí:

Tá ard-íonacht agus dlúthacht ard ag scannáin tanaí nítríde sileacain arna dtáirgeadh ag CVD, ach tá trealamh an mhodha seo casta agus costasach, agus tá sé oiriúnach chun scannáin tanaí a tháirgeadh i leathsheoltóirí agus feistí micreictreonaic.

C. Nítriding ardbhrú
Prionsabal oibriúcháin agus riachtanais trealaimh

Feabhsaíonn an modh nítriding ardbhrú dlús agus neart nítríde sileacain tríd an imoibriú nítriding a sheoladh ag teocht ard agus brú ard. Cuireann an timpeallacht ardbhrú imoibriú sileacain agus nítrigine chun cinn, ag laghdú am imoibrithe.

Tá an modh seo oiriúnach chun criadóireacht innealtóireachta ard-dlúis a tháirgeadh agus is minic a úsáidtear é in ullmhú ábhair nítríde sileacain le ceanglais ard-neart, mar shampla imthacaí ardfheidhmíochta agus uirlisí gearrtha, ach tá na ceanglais trealaimh ard, tá an costas ullmhúcháin ard, agus tá sé oiriúnach le haghaidh táirgeadh táirgí ard-bhreisluacha.

D. Sintéis ardteochta féin-iomadaithe (SHS)
Forbhreathnú ar mhodheolaíocht

Úsáideann sintéis ardteochta féin-iomadaithe (SHS) tréithe féin-iomadaithe imoibrithe ceimiceacha chun teocht ard a tháirgeadh trí adhaint chun imoibriú nítriding spontáineach a chur chun cinn chun púdar nítríde sileacain a tháirgeadh.

Saintréithe próisis

Tá luas imoibrithe ard agus tomhaltas íseal fuinnimh ag an modh SHS, ach tá cobhsaíocht agus aonfhoirmeacht an imoibrithe deacair a rialú. Tá an modh seo oiriúnach le haghaidh táirgeadh ar scála mór d'ábhair phúdair agus úsáidtear é go príomha le haghaidh iarratais ar nós líonadh ábhar agus atomization púdar.